文献
J-GLOBAL ID:201502280910988893
整理番号:15A0661313
Mueller行列分光偏光解析法での周期格子の方位角依存性の解釈
Interpretation of azimuthal angle dependence of periodic gratings in Mueller matrix spectroscopic ellipsometry
著者 (7件):
HEINRICH Anett
(NaMLab gGmbH, Dresden, DEU)
,
BISCHOFF Joerg
(Osires, Ilmenau, DEU)
,
MEINER Kurt
(SENTECH Instruments GmbH, Berlin, DEU)
,
RICHTER Uwe
(SENTECH Instruments GmbH, Berlin, DEU)
,
MIKOLAJICK Thomas
(NaMLab gGmbH, Dresden, DEU)
,
MIKOLAJICK Thomas
(TU Dresden, Dresden, DEU)
,
DIRNSTORFER Ingo
(NaMLab gGmbH, Dresden, DEU)
資料名:
Journal of the Optical Society of America. A. Optics, Image Science, and Vision
(Journal of the Optical Society of America. A. Optics, Image Science, and Vision)
巻:
32
号:
4
ページ:
604-610
発行年:
2015年04月01日
JST資料番号:
C0327B
ISSN:
1084-7529
CODEN:
JOAOD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)