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文献
J-GLOBAL ID：201502282258411867
整理番号：15A0654149
熱ローラナノインプリントによる光引き出し構造の高速複製
High-speed replication of light-extraction structure with thermal roller nanoimprinting
TAKAHASHI K.
(Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...)
,
NAGATO K.
(Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...)
,
NAGATO K.
(Res. Fellow of Precursory Res. for Embryonic Sci. and Technol. (PRESTO), Japan Sci. and Technol. Agency (JST), JPN)
,
HAMAGUCHI T.
(Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...)
,
NAKAO M.
(Dep. of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo ...)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 141 ページ： 285-288 発行年： 2015年06月15日
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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