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文献
J-GLOBAL ID：201502282824389173
整理番号：15A0674644
シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学 2.気相の物理・化学 2.1 シリコン薄膜形成プロセスにおけるプラズマ中の水素原子の計測とその挙動
堀勝
(名古屋大)
,
阿部祐介
(科学技術振興機構)
,
竹田圭吾
(名古屋大)
,
石川健治
(名古屋大)
,
近藤博基
(名古屋大)
,
関根誠
(名古屋大)
,
HAN G.Jeon
(成均館大(韓国))
資料名：
プラズマ・核融合学会誌
(Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 91 号： 5 ページ： 317-322 発行年： 2015年05月25日
JST資料番号： G0114A ISSN： 0918-7928 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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