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文献
J-GLOBAL ID：201502283819634603
整理番号：15A0268136
ITOナノ構造のエッチングのためのナノ粒子及びナノスフェアマスク及びその反射特性
Nanoparticle and nanosphere mask for etching of ITO nanostructures and their reflection properties
XU Cigang
(Oxford Instruments Plasma Technol., North End Road, Yatton, Bristol, BS49 4AP, GBR)
,
DENG Ligang
,
HOLDER Adam
,
BAILEY Louise R.
,
LEENDERTZ Caspar
,
BERGMANN Joachim
,
PROUDFOOT Gary
,
THOMAS Owain
,
GUNN Robert
,
COOKE Mike
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 212 号： 1 ページ： 171-176 発行年： 2015年01月
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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