文献
J-GLOBAL ID:201502285020622370
整理番号:15A0435278
二周波数容量結合塩素放電
Dual-frequency capacitively coupled chlorine discharge
著者 (3件):
HUANG Shuo
(Joint Inst., Univ. Michigan-Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
GUDMUNDSSON J T
(Joint Inst., Univ. Michigan-Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
,
GUDMUNDSSON J T
(Univ. Iceland, Reykjavik, ISL)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
24
号:
1
ページ:
015003,1-12
発行年:
2015年02月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)