文献
J-GLOBAL ID:201502286102631226
整理番号:15A0435305
空間閉じ込め遠隔プラズマ中のシリコンナノ結晶サイズ分布制御の改善
Improved size distribution control of silicon nanocrystals in a spatially confined remote plasma
著者 (4件):
DOGAN Ilker
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
WESTERMAN Rene H J
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
VAN DE SANDEN Mauritius C M
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
VAN DE SANDEN Mauritius C M
(Dutch Inst. for Fundamental Energy Res. (DIFFER), Nieuwegein, NLD)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
24
号:
1
ページ:
015030,1-11
発行年:
2015年02月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)