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文献
J-GLOBAL ID：201502287147006060
整理番号：15A0713196
大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射アモルファスシリコン細線による結晶成長制御およびCMOS回路の高速駆動
Grain Growth Control by Atmospheric Pressure Micro-Thermal-Plasma-Jet Irradiation on Amorphous Silicon Strips and High-Speed Operation of CMOS Circuit
森崎誠司
(広島大 大学院先端物質科学研究科)
,
林将平
(広島大 大学院先端物質科学研究科)
,
山本将悟
(広島大 大学院先端物質科学研究科)
,
中谷太一
(広島大 大学院先端物質科学研究科)
,
東清一郎
(広島大 大学院先端物質科学研究科)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115 号： 19(OME2015 1-17) ページ： 49-52 発行年： 2015年04月22日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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