文献
J-GLOBAL ID:201502287500149473
整理番号:15A0555585
赤外フェムト秒ミクロBesselビームを用いたシリコンのレーザ加工限界
Limitations to laser machining of silicon using femtosecond micro-Bessel beams in the infrared
著者 (4件):
GROJO David
(Aix-Marseille Univ., CNRS, LP3 UMR 7341, F-13288 Marseille, FRA)
,
MOUSKEFTARAS Alexandros
(Aix-Marseille Univ., CNRS, LP3 UMR 7341, F-13288 Marseille, FRA)
,
DELAPORTE Philippe
(Aix-Marseille Univ., CNRS, LP3 UMR 7341, F-13288 Marseille, FRA)
,
LEI Shuting
(Industrial and Manufacturing Systems Engineering, Kansas State Univ., Manhattan, Kansas 66506, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
117
号:
15
ページ:
153105-153105-7
発行年:
2015年04月21日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)