文献
J-GLOBAL ID:201502288664932787
整理番号:15A0222930
高周波,直流,および高周波-直流重畳マグネトロンスパッタリングによる高透明導電性Alドープ酸化亜鉛多結晶膜のキャリア移動度 結晶粒効果と結晶内散乱
Carrier mobility of highly transparent conductive Al-doped ZnO polycrystalline films deposited by radio-frequency, direct-current, and radio-frequency-superimposed direct-current magnetron sputtering: Grain boundary effect and scattering in the grain bulk
著者 (3件):
NOMOTO Junichi
(Res. Inst., Kochi Univ. of Technol., 185 Miyanokuchi, Tosayamada-cho, Kami-shi, Kochi 782-8502, JPN)
,
MAKINO Hisao
(Res. Inst., Kochi Univ. of Technol., 185 Miyanokuchi, Tosayamada-cho, Kami-shi, Kochi 782-8502, JPN)
,
YAMAMOTO Tetsuya
(Res. Inst., Kochi Univ. of Technol., 185 Miyanokuchi, Tosayamada-cho, Kami-shi, Kochi 782-8502, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
117
号:
4
ページ:
045304-045304-9
発行年:
2015年01月28日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)