文献
J-GLOBAL ID:201502288926454814
整理番号:15A0597815
自己加熱陰極の使用を含む熱反応性イオンエッチング技術
Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode
著者 (4件):
YAMADA S.
(Graduate School of Sci. and Technol., Niigata Univ., Niigata 950-2181, JPN)
,
MINAMI Y.
(Graduate School of Sci. and Technol., Niigata Univ., Niigata 950-2181, JPN)
,
SOHGAWA M.
(Graduate School of Sci. and Technol., Niigata Univ., Niigata 950-2181, JPN)
,
ABE T.
(Graduate School of Sci. and Technol., Niigata Univ., Niigata 950-2181, JPN)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
86
号:
4
ページ:
045001-045001-4
発行年:
2015年04月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)