文献
J-GLOBAL ID:201502290188656886
整理番号:15A0228623
Au-n-GaAsコンタクトの帯電に関するAFM研究
AFM study of charging of the Au-n-GaAs contact
著者 (3件):
SHMARGUNOV A.V.
(JSC “Scientific Res. Inst. of Semiconductor Devices”, 634034 Tomsk, RUS)
,
BOZHKOV V.G.
(JSC “Scientific Res. Inst. of Semiconductor Devices”, 634034 Tomsk, RUS)
,
NOVIKOV V.A.
(“Tomsk State University”, 634050 Tomsk, RUS)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
133
ページ:
73-77
発行年:
2015年02月05日
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)