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文献
J-GLOBAL ID：201502292455394562
整理番号：15A0227000
微細構造の加工について,変位センサ組込みボイスコイルモータベース高速工具サーボの開発
The Development of an Displacement Sensor Embedded Voice Coil Motor Based Fast-Tool-Servo for the Machining of Micro-structure
YANG Zhijun
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
BAI Youdun
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
WANG Sujuan
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
CHEN Xindu
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
LIU Qiang
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
LI Ketian
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
WANG Han
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
,
CHEN Xin
(Guangdong Univ. Technol., Guangzhou, CHN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 625 ページ： 258-261 発行年： 2015年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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