文献
J-GLOBAL ID:201502292806667978
整理番号:15A0226965
二軸ステージの直線度の評価
Evaluation of Straightness of Two-Axes Stage
著者 (3件):
IORI Keisuke
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
OZAKI Miyu
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
FURUTANI Ryoshu
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
625
ページ:
47-52
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)