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文献
J-GLOBAL ID:201502294295862451   整理番号:15A0724115

高周波数圧力源を使った多重マイクロアクチュエータ

A Multiple-Microactuator System Using a High-Frequency Pressure Source
著者 (4件):
YOSHIDA Kazuhiro
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
YAMAMOTO Satoshi
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
EOM Sang In
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
YOKOTA Shinichi
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)

資料名:
Sensors and Materials  (Sensors and Materials)

巻: 27  号:ページ: 317-328  発行年: 2015年 
JST資料番号: L0338A  ISSN: 0914-4935  CODEN: SENMER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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