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文献
J-GLOBAL ID：201502294295862451
整理番号：15A0724115
高周波数圧力源を使った多重マイクロアクチュエータ
A Multiple-Microactuator System Using a High-Frequency Pressure Source
YOSHIDA Kazuhiro
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
YAMAMOTO Satoshi
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
EOM Sang In
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
YOKOTA Shinichi
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 27 号： 4 ページ： 317-328 発行年： 2015年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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