文献
J-GLOBAL ID:201502294816170020
整理番号:15A0227012
高感度ラマン分光法を用いたCu-CMPにおける反応フラレノール分子の化学的相互作用の解析に関する研究
Study on chemical interaction analysis of reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy
著者 (4件):
MURAI Ryota
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YAKAYA Yasuhiro
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HAYASHI Terutake
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MICHIHATA Masaki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
625
ページ:
332-338
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)