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文献
J-GLOBAL ID：201502295109232237
整理番号：15A0622390
ゾル-ゲルSiO2膜に基づいた高感度弾性表面波(SAW)湿度センサ:検出特性とメカニズムの調査
Highly sensitive surface acoustic wave (SAW) humidity sensors based on sol-gel SiO2 films: Investigations on the sensing property and mechanism
TANG Yongliang
(School of Physical Electronics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN)
,
LI Zhijie
(School of Physical Electronics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN)
,
MA Jinyi
(Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN)
,
WANG Lu
(Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN)
,
YANG Jin
(Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN)
,
DU Bo
(Sichuan Inst. of Piezoelectric and Acousto-optic Technol., Chongqing 400060, CHN)
,
YU Qingkai
(Ingram School of Engineering and MSEC, Texas State Univ., San Marcos, TX 78666, USA)
,
ZU Xiaotao
(School of Physical Electronics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN)
,
ZU Xiaotao
(Inst. of Fundamental and Frontier Sciences, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu, 610054, CHN)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 215 ページ： 283-291 発行年： 2015年08月
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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