文献
J-GLOBAL ID:201602201985400612
整理番号:16A0058434
in situ摩擦試験中のボロンドープ超ナノ結晶ダイヤモンド系MEMSの側壁上の炭素系保護層の観察
Observation of a carbon-based protective layer on the sidewalls of boron doped ultrananocrystalline diamond-based MEMS during in situ tribotests
著者 (6件):
BUJA Federico
(TU Delft, Delft, NLD)
,
KOKORIAN Jaap
(TU Delft, Delft, NLD)
,
GULOTTY Richard
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
SUMANT Anirudha V
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
VAN SPENGEN W Merlijn
(TU Delft, Delft, NLD)
,
VAN SPENGEN W Merlijn
(Falco Systems, Amsterdam, NLD)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
12
ページ:
125020,1-15
発行年:
2015年12月16日
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)