文献
J-GLOBAL ID:201602202084050325
整理番号:16A0264242
不純物注入型ULSI電池中の転位蓄積のシミュレーションと電気特性評価
Simulation of Dislocation Accumulation in Impurity Doped-ULSI Cells and Electric Characteristic Evaluations
著者 (2件):
SATO Michihiro
(Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
,
TAKAHASHI Yosuke
(UACJ Corp., Tokyo, JPN)
資料名:
International Journal of Automation Technology
(International Journal of Automation Technology)
巻:
10
号:
2
ページ:
195-200
発行年:
2016年03月05日
JST資料番号:
L0997B
ISSN:
1881-7629
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)