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J-GLOBAL ID：201602202834966335 整理番号：16A0371240

TMS vapourおよびTEOS vapourの電子衝突断面積

Electron collision cross sections of TMS and TEOS vapours

著者 (4件)：

川口悟

(室蘭工大)

佐藤孝紀

(室蘭工大)

高橋一弘

(室蘭工大)

伊藤秀範

(室蘭工大)

資料名：

電気学会放電研究会資料 (電気学会研究会資料)

巻： ED-16 号： 20-27 ページ： 29-34 発行年： 2016年03月11日
JST資料番号： Z0911A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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