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文献
J-GLOBAL ID：201602203402881017
整理番号：16A0283845
フッ酸系エッチャントによるZnTeのメサエッチングとZnMgTe/ZnTe光導波路のリッジ化
風見蕗乃
(早稲田大 理工)
,
SUN W.
(早稲田大 理工)
,
WANG J.
(早稲田大 理工)
,
中須大蔵
(早稲田大 理工)
,
服部翔太
(早稲田大 理工)
,
木津健
(早稲田大 理工)
,
橋本勇輝
(早稲田大 理工)
,
玉川陽菜
(早稲田大 理工)
,
小高圭佑
(早稲田大 理工)
,
山本洋輔
(早稲田大 理工)
,
小林正和
(早稲田大 理工)
,
小林正和
(早大 材研)
,
朝日聡明
(JX金属)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.22A-H116-3 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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