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文献
J-GLOBAL ID：201602205176378741
整理番号：16A0168768
誘導結合Ar/O-2プラズマの流体シミュレーション:実験との比較【Powered by NICT】
Fluid simulation of inductively coupled Ar/O_2 plasmas:Comparisons with experiment
Wang Yanhui
(School of Physics and Optoelectronic Technol., Dalian Univ. of Technol. Key Lab. of Materials Modification by Laser ...)
,
Liu Wei
(School of Physics and Optoelectronic Technol., Dalian Univ. of Technol. Key Lab. of Materials Modification by Laser ...)
,
Zhang Yuru
(School of Physics and Optoelectronic Technol., Dalian Univ. of Technol. Key Lab. of Materials Modification by Laser ...)
,
Wang Younian
(School of Physics and Optoelectronic Technol., Dalian Univ. of Technol. Key Lab. of Materials Modification by Laser ...)
資料名：
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻： 24 号： 9 ページ： 095203-1-095203-8 発行年： 2015年
JST資料番号： W1539A ISSN： 1674-1056 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 英語 (EN)
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