文献
J-GLOBAL ID:201602205592142811
整理番号:16A0024351
AlGaN/GaN膜およびマイクロ構造の強誘電性薄膜MEMSと極端な条件でのSiC圧力センサのレーザアブレーション
Laser ablation for membrane processing of AlGaN/GaN- and micro structured ferroelectric thin film MEMS and SiC pressure sensors for extreme conditions
著者 (7件):
ZEHETNER J.
(Univ. Applied Sci., Dornbirn, AUT)
,
VANKO G.
(Slovakia Univ. Applied Sci.)
,
DZUBA J.
(Slovakia Univ. Applied Sci.)
,
RYGER I.
(Slovakia Univ. Applied Sci.)
,
LALINSKY T.
(Slovakia Univ. Applied Sci.)
,
BENKLER Manuel
(Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
,
LUCKI Michal
(Czech Technical Univ. in Prague, Prague, CZE)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9517
ページ:
951721.1-951721.7
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)