文献
J-GLOBAL ID:201602205682198280
整理番号:16A0190607
ウエハイメージリップリング改善のためのルールベースOPCフラグメンテーションの最適化
Optimization of rule-based OPC fragmentation to Improve Wafer Image Rippling
著者 (4件):
WANG Jingyu
(GLOBALFOUNDRIES, Dresden, DEU)
,
WEI Alexander
(Mentor Graphics Corp., NY, USA)
,
VERMA Piyush
(GLOBALFOUNDRIES Inc., CA, USA)
,
WILKINSON William
(GLOBALFOUNDRIES Inc., NY, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9661
ページ:
96610D.1-96610D.16
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)