前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201602206129714900
整理番号：16A0009486
半導体デバイス配線中のCu/SiN界面局所付着強度に及ぼす銅の結晶方位の影響
大浦由香
(名古屋工大)
,
杉山裕子
(名古屋工大)
,
杉山裕子
(JST)
,
宍戸信之
(名古屋工大)
,
宍戸信之
(JST)
,
神谷庄司
(名古屋工大)
,
神谷庄司
(JST)
,
佐藤尚
(名古屋工大)
,
佐藤尚
(JST)
,
小岩康三
(名古屋工大)
,
小岩康三
(JST)
,
西田政弘
(名古屋工大)
,
西田政弘
(JST)
,
大宮正毅
(JST)
,
大宮正毅
(慶応大)
,
鈴木貴志
(富士通研)
,
中村友二
(富士通研)
,
鈴木俊明
(JST)
,
鈴木俊明
(日本電子)
,
野久尾毅
(JST)
,
野久尾毅
(日本電子)
資料名：
日本機械学会東海支部総会講演会講演論文集
(日本機械学会東海支部総会講演会講演概要集)
巻： 62nd ページ： 327-328 発行年： 2013年03月18日
JST資料番号： L0013A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。