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文献
J-GLOBAL ID：201602206232758044
整理番号：16A0251765
超並列電子線描画装置用nc-Si(ナノシリコン)面電子源のためのMEMS静電コンデンサレンズアレイの開発
小島明
(東北大)
,
池上尚克
(東北大)
,
宮口裕
(東北大)
,
吉田慎哉
(東北大)
,
室山真徳
(東北大)
,
戸津健太郎
(東北大)
,
江刺正喜
(東北大)
,
越田信義
(東京農工大)
資料名：
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 32nd ページ： ROMBUNNO.28PM3-B-2 発行年： 2015年10月21日
JST資料番号： X0768B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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