文献
J-GLOBAL ID:201602206714680972
整理番号:16A0187380
SEMで行った測定に関するナノマニュファクチャリング懸案事項 IV: 帯電とその軽減
Nanomanufacturing Concerns about Measurements Made in the SEM Part IV: Charging and its Mitigation
著者 (2件):
POSTEK Michael T.
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
VLADAR Andras E.
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9556
ページ:
95560Q.1-95560Q.11
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)