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文献
J-GLOBAL ID：201602210299656863
整理番号：16A0030583
粗視化重合体モデルを用いたリソグラフィープロセスシミュレーション研究
Lithography process simulation studies using coarse-grained polymer models
MORITA Hiroshi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Polymer Journal
(Polymer Journal)
巻： 48 号： 1 ページ： 45-50 発行年： 2016年01月
JST資料番号： F0612A ISSN： 0032-3896 CODEN： POLJB8 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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