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文献
J-GLOBAL ID：201602210752741427
整理番号：16A0018911
極端紫外線リソグラフィーを超えるための金属吸収材料の評価
Evaluation of Metal Absorber Materials for Beyond Extreme Ultraviolet Lithography
HONG Seongchul
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Jung Sik
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
LEE Jae Uk
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
LEE Seung Min
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Jung Hwan
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
AHN Jinho
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
資料名：
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 15 号： 11 ページ： 8652-8655 発行年： 2015年11月
JST資料番号： W1351A ISSN： 1533-4880 CODEN： JNNOAR 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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