文献
J-GLOBAL ID:201602210972138659
整理番号:16A0193957
高度マスク欠陥検査に影響を与える要因に関する研究
A study on the factors that affect the advanced mask defect verification
著者 (5件):
WOO Sungha
(SK Hynix Inc., Chungcheongbuk-do, KOR)
,
JANG Heeyeon
(SK Hynix Inc., Chungcheongbuk-do, KOR)
,
LEE Youngmo
(SK Hynix Inc., Chungcheongbuk-do, KOR)
,
KIM Sangpyo
(SK Hynix Inc., Chungcheongbuk-do, KOR)
,
YIM Donggyu
(SK Hynix Inc., Chungcheongbuk-do, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9635
ページ:
96351Y.1-96351Y.6
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)