文献
J-GLOBAL ID:201602212183403251
整理番号:16A0131261
スピンエッチング法のエッチング特性に関する実験的研究
Experimental Study on Etching Characteristics of a Spin-Etching Method
著者 (1件):
KIM Yongdae
(Agency for Defense Dev., Daejeon, KOR)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
6
ページ:
1827-1831
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)