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文献
J-GLOBAL ID：201602212376661835
整理番号：16A0193951
統合計測法によるロット内オーバレイ変化の低減と総合的な制御戦略
Reduction of in-lot overlay variation with integrated metrology, and a holistic control strategy
LEE Hong-Goo
(SK hynix, KOR)
,
HAN Sang-Jun
(SK hynix, KOR)
,
MA Won-Kwang
(SK hynix, KOR)
,
KIM Young-Sik
(SK hynix, KOR)
,
KWAK Noh-Jung
(SK hynix, KOR)
,
BOECKER Paul
(ASML, NLD)
,
DECKERS David
(ASML, NLD)
,
KOU Weitian
(ASML, NLD)
,
KUPERS Michiel
(ASML, NLD)
,
RYAN Kevin
(ASML, NLD)
,
MCNAMARA Elliott
(ASML, KOR)
,
KIM Gwang-Gon
(ASML, KOR)
,
SUN Kyu-Tae
(ASML, KOR)
,
LIM Young-Wan
(ASML, KOR)
,
BYUN Jin-Moo
(ASML, KOR)
,
SUH Jung-Joon
(ASML, KOR)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9635 ページ： 96351S.1-96351S.7 発行年： 2015年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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