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文献
J-GLOBAL ID：201602212886853208
整理番号：16A0186997
微小格子再構築のための三次元全フィールド表面形状測定用の光学的超解像法
Optical superresolution methodology for 3-D full field surface profilometry to reconstruction of micro gratings
CHEN Liang-Chia
(National Taiwan Univ., Taipei, TWN)
,
CHEN Liang-Chia
(National Taipei Univ. Technol., TWN)
,
HAI Hoang Hong
(National Taipei Univ. Technol., TWN)
,
LIN Shyh-Tsong
(National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN)
,
FAN Kuang-Chao
(National Taiwan Univ., Taipei, TWN)
,
KULIKOV Rodion V.
(Technological Design Inst. Scientific Instrument Engineering (TDI SIE), Russian Acad. Sci.)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9524 ページ： 952421.1-952421.8 発行年： 2015年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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