文献
J-GLOBAL ID:201602213725924412
整理番号:16A1283907
高速で精密なマイクロメートルストローク位置決めにおける応答変動の解析【Powered by NICT】
Analysis of response variation in fast and precise micrometer stroke positioning
著者 (2件):
Maeda Yoshihiro
(Department of Electrical and Mechanical Engineering, Nagoya Institute of Technology, Gokiso, Showa, 4668555, JAPAN)
,
Iwasaki Makoto
(Department of Electrical and Mechanical Engineering, Nagoya Institute of Technology, Gokiso, Showa, 4668555, JAPAN)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ISIE
ページ:
1126-1131
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)