文献
J-GLOBAL ID:201602214057395882
整理番号:16A0133015
共鳴吸収端付近の斜入射極端紫外線リフレクトメトリを用いた多層膜ミラー内の埋込み界面の解析
Analysis of buried interfaces in multilayer mirrors using grazing incidence extreme ultraviolet reflectometry near resonance edges
著者 (11件):
SERTSU M. G.
(Univ. Padova, Padova, ITA)
,
SERTSU M. G.
(IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA)
,
SERTSU M. G.
(RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU)
,
NARDELLO M.
(IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA)
,
NARDELLO M.
(Univ. Padova, Padova, ITA)
,
GIGLIA A.
(Istituto Officina Materiali, CNR, Trieste, ITA)
,
CORSO A. J.
(IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA)
,
MAURIZIO C.
(Univ. Padova, Padova, ITA)
,
JUSCHKIN L.
(RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU)
,
NICOLOSI P.
(Univ. Padova, Padova, ITA)
,
NICOLOSI P.
(IFN UOS Padova, CNR, Padova, ITA)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
54
号:
35
ページ:
10351-10358
発行年:
2015年12月10日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)