文献
J-GLOBAL ID:201602214781887622
整理番号:16A0131299
大面積超薄ポリジメチルシロキサンメンブレンの材料キャラクタリゼーションと移動
Material Characterization and Transfer of Large-Area Ultra-Thin Polydimethylsiloxane Membranes
著者 (4件):
GAO Jinsheng
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
GUO Dongzhi
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
SANTHANAM Suresh
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
FEDDER Gary K.
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
24
号:
6
ページ:
2170-2177
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)