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J-GLOBAL ID：201602215104746326 整理番号：16A0283393

可視光OCTとFDTDシミュレーションによる半導体光デバイス微細加工における新規非破壊膜厚測定法

著者 (8件)：

西剛史

(和歌山大)

尾崎信彦

(和歌山大)

及川陽一

(シンクランド)

宮地邦男

(シンクランド)

大里啓孝

(物質・材料研究機構)

渡辺英一郎

(物質・材料研究機構)

池田直樹

(物質・材料研究機構)

杉本喜正

(物質・材料研究機構)

資料名：

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.21P-P15-12 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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