文献
J-GLOBAL ID:201602215706498110
整理番号:16A0193942
フラットパネルディスプレイ用の減衰位相シフトマスク(PSM)ブランク
Attenuated phase-shift mask (PSM) blanks for flat panel display
著者 (4件):
KAGEYAMA Kagehiro
(ULVAC Coating Corp., Saitama, JPN)
,
MOCHIZUKI Satoru
(ULVAC Coating Corp., Saitama, JPN)
,
YAMAKAWA Hiroyuki
(ULVAC Coating Corp., Saitama, JPN)
,
UCHIDA Shigeru
(ULVAC Coating Corp., Saitama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9635
ページ:
96351I.1-96351I.4
発行年:
2015年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)