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文献
J-GLOBAL ID：201602216520487310
整理番号：16A0090488
金属酸化物薄膜堆積のための触媒反応生成高エネルギーH2Oビーム
High-energy H2O beam produced by a Pt-catalyzed H2-O2 reaction for the metal oxide film deposition
寺口祐介
(長岡技科大)
,
田島諒一
(長岡技科大)
,
中村友紀
(長岡技科大)
,
高橋一匡
(長岡技科大)
,
玉山泰宏
(長岡技科大)
,
安井寛治
(長岡技科大)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115 号： 297(CPM2015 83-102) ページ： 75-79 発行年： 2015年10月30日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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