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文献
J-GLOBAL ID：201602217499263887
整理番号：16A0163967
ナノ結晶AlN薄膜の集合組織とDCマグネトロンスパッタリングにおける成長条件【Powered by NICT】
Texture of the nano-crystalline AlN thin films and the growth conditions in DC magnetron sputtering
Khan Shakil
(Dep. of Metallurgy and Materials Engineering, Pakistan Inst. of Engineering & Applied Sciences, Pakistan, Islamabad)
,
Shahid Muhammad
(Dep. of Nuclear Engineering, Pakistan Inst. of Engineering & Applied Sciences, Pakistan, Islamabad)
,
Mahmood A
(National Inst. of Laser and Optronics (NILOP), Pakistan, Islamabad)
,
Shah A
(National Inst. of Laser and Optronics (NILOP), Pakistan, Islamabad)
,
Ahmed Ishaq
(National Centre for Physics, Quaid-i-Azam Univ., Pakistan, Islamabad)
,
Mehmood Mazhar
(Dep. of Metallurgy and Materials Engineering, Pakistan Inst. of Engineering & Applied Sciences, Pakistan, Islamabad)
,
Aziz U
(National Inst. of Laser and Optronics (NILOP), Pakistan, Islamabad)
,
Raza Q
(National Inst. of Laser and Optronics (NILOP), Pakistan, Islamabad)
,
Alam M
(Dep. of Applied Physics, Pakistan Inst. of Engineering & Applied Sciences, Pakistan, Islamabad)
資料名：
Progress in Natural Science: Materials International
(Progress in Natural Science: Materials International)
巻： 25 号： 4 ページ： 282-290 発行年： 2015年
JST資料番号： W0407A ISSN： 1002-0071 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 英語 (EN)
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