文献
J-GLOBAL ID:201602217954426510
整理番号:16A0172316
フォトレジスト上における振幅変調したラジアル偏光ビームの集光によるスポットサイズの縮小実験
Demonstration of spot size reduction by focussing amplitude modulated radially polarized light on a photoresist
著者 (4件):
USHAKOVA K
(Fac. of Applied Sci., Delft, NLD)
,
VAN DEN BERG Q Y
(Fac. of Applied Sci., Delft, NLD)
,
PEREIRA S F
(Fac. of Applied Sci., Delft, NLD)
,
URBACH H P
(Fac. of Applied Sci., Delft, NLD)
資料名:
Journal of Optics
(Journal of Optics)
巻:
17
号:
12
ページ:
125615,1-8
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
D0538C
ISSN:
2040-8978
CODEN:
JOOPCA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)