文献
J-GLOBAL ID:201602218191848724
整理番号:16A0226919
フェムト秒レーザと位相マスクを用いたワイドバンドギャップ半導体表面上での格子構造の加工
Processing grating structures on surfaces of wide-bandgap semiconductors using femtosecond laser and phase mask
著者 (6件):
GAO Bo
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
,
CHEN Tao
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
,
CUI Wei
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
,
LI Cunxia
(Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN)
,
SI Jinhai
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
,
HOU Xun
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
54
号:
12
ページ:
126106.1-126106.4
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)