文献
J-GLOBAL ID:201602218613291809
整理番号:16A0148601
電子ビーム誘起エッチングにおける動的パターンの形成
Dynamic Pattern Formation in Electron-Beam-Induced Etching
著者 (7件):
MARTIN Aiden A.
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
MARTIN Aiden A.
(Lawrence Livermore National Lab., California, USA)
,
BAHM Alan
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
BAHM Alan
(FEI Co., Oregon, USA)
,
BISHOP James
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
AHARONOVICH Igor
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
TOTH Milos
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
資料名:
Physical Review Letters
(Physical Review Letters)
巻:
115
号:
25
ページ:
255501.1-255501.5
発行年:
2015年12月18日
JST資料番号:
H0070A
ISSN:
0031-9007
CODEN:
PRLTAO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)