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文献
J-GLOBAL ID：201602218613291809
整理番号：16A0148601
電子ビーム誘起エッチングにおける動的パターンの形成
Dynamic Pattern Formation in Electron-Beam-Induced Etching
MARTIN Aiden A.
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
MARTIN Aiden A.
(Lawrence Livermore National Lab., California, USA)
,
BAHM Alan
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
BAHM Alan
(FEI Co., Oregon, USA)
,
BISHOP James
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
AHARONOVICH Igor
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
,
TOTH Milos
(Univ. Technol. Sydney, New South Wales, AUS)
資料名：
Physical Review Letters
(Physical Review Letters)
巻： 115 号： 25 ページ： 255501.1-255501.5 発行年： 2015年12月18日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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