文献
J-GLOBAL ID:201602218623431161
整理番号:16A0144918
ゾル-ゲルPZT膜による集積強誘電キャパシタの電気物理特性
Electrophysical Properties of Integrated Ferroelectric Capacitors Based on Sol-Gel PZT Films
著者 (7件):
DELIMOVA L. A.
(Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS)
,
GUSCHINA E. V.
(Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS)
,
YUFEREV V. S.
(Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS)
,
GREKHOV I. V.
(Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS)
,
SEREGIN D. S.
(Ioffe Physicotechnical Inst., Saint Petersburg, RUS)
,
VOROTILOV K. A.
(Moscow State Technical Univ. Radioengineering, RUS)
,
SIGOV A. S.
(Moscow State Technical Univ. Radioengineering, RUS)
資料名:
Ferroelectrics
(Ferroelectrics)
巻:
484
ページ:
140-150
発行年:
2015年10月
JST資料番号:
D0777A
ISSN:
0015-0193
CODEN:
FEROA8
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)