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文献
J-GLOBAL ID：201602219025972120
整理番号：16A0283954
RFスパッタ法を用いたIGZO薄膜の作製とTFT応用
高橋崇典
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
,
門脇圭佑
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
,
佐藤智也
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
,
井上貴明
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
,
熊谷佳郎
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
,
宝賀剛
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
,
内山潔
(National Inst. of Technol., Tsuruoka Coll.)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.22A-P5-13 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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