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文献
J-GLOBAL ID：201602219134948115
整理番号：16A0096418
大面積/低温分布アンテナアレイマイクロ波プラズマ反応容器中で蒸着されたナノ結晶ダイヤモンド薄膜のマイクロ構造及び成長動力学
Microstructure and growth kinetics of nanocrystalline diamond films deposited in large area/low temperature distributed antenna array microwave-plasma reactor
BAUDRILLART Benoit
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
,
BENEDIC Fabien
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
,
BRINZA Ovidiu
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
,
BIEBER Thomas
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
,
CHAUVEAU Thierry
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
,
ACHARD Jocelyn
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
,
GICQUEL Alix
(Univ. Paris 13, Sorbonne Paris Cite, LSPM-CNRS, 99 Avenue Jean-Baptiste Clement, 93430 Villetaneuse, FRA)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 212 号： 11 ページ： 2611-2615 発行年： 2015年11月
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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