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文献
J-GLOBAL ID：201602227000808280
整理番号：16A1199204
高い圧電性を有するMg-Zr共ドープ窒化アルミニウムを用いたカンチレバー形振動発電素子
Cantilever based energy harvesters using Mg-Zr-codoped aluminum nitride with high piezoelectricity
MINH Le Van
(Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN)
,
HARA Motoaki
(Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN)
,
YOKOYAMA Tsuyoshi
(Taiyo Yuden Co., Ltd., Akashi-shi, JPN)
,
NISHIHARA Tokihiro
(Taiyo Yuden Co., Ltd., Akashi-shi, JPN)
,
UEDA Masanori
(Taiyo Yuden Mobile Technol. Co., Ltd., Ome-shi, JPN)
,
KUWANO Hiroki
(Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN)
資料名：
日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
(日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 7th ページ： ROMBUNNO.29pm3-PN-37 発行年： 2015年10月21日
JST資料番号： L8358B ISSN： 2432-9495 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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