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文献
J-GLOBAL ID：201602227652348357
整理番号：16A1385738
振動負荷とモデリングによる加速ストレス試験下のスパッタ蒸着したアルミニウム薄膜の信頼性【Powered by NICT】
Reliability of sputtered thin aluminium films under accelerated stress testing by vibration loading and modeling
Wunderle B.
(Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany)
,
Onken T.
(Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany)
,
Heilmann J.
(Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany)
,
Silbernagl D.
(Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung BAM, 12205 Berlin, Germany)
,
Arnold J.
(Technische Universiaet Chemnitz, Professur Werkstoffe und Zuverlaessigkeit mikrotechnischer Systeme, Reichenhainer Str. 70, 09126, Germany)
,
Bieniek T.
(Instytut Technologii Elektronowej ITE, 02-668 Warszawa, Poland)
,
Pufall R.
(Infineon Technologies AG, 85579 Neubiberg, Germany)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： ESTC ページ： 1-14 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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