文献
J-GLOBAL ID:201602236814263998
整理番号:16A0635561
大気圧での閉ループ振動制御によるパラメトリック駆動MEMS共振器【Powered by NICT】
Parametric drive MEMS resonator with closed-loop vibration control at ambient pressure
著者 (6件):
Mingliang Song
(Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
,
Bin Zhou
(Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
,
Zhiyong Chen
(Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
,
Hongbo Wang
(Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
,
Tian Zhang
(Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
,
Rong Zhang
(Dept. of Precision Instrum., Tsinghua Univ., Beijing, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ISS
ページ:
85-88
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)