文献
J-GLOBAL ID:201602238582407897
整理番号:16A0564413
シリコンのレーザ穴あけのための非デジタル化回折ビームスプリッタを備えたビームデリバリーシステム
Beam delivery system with a non-digitized diffractive beam splitter for laser-drilling of silicon
著者 (2件):
Amako J.
(Toyo University, 2100 Kujirai, Kawagoe, Saitama 350-8585, Japan)
,
Fujii E.
(Seiko Epson Corporation, Fujimi-cho, Fujimi 281, Nagano 399-0293, Japan)
資料名:
Optics and Lasers in Engineering
(Optics and Lasers in Engineering)
巻:
77
ページ:
1-7
発行年:
2016年02月
JST資料番号:
A0602B
ISSN:
0143-8166
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)