文献
J-GLOBAL ID:201602238970365420
整理番号:16A0656263
CMOS SOIテスト構造測定のための進歩したシステム【Powered by NICT】
Advanced system for CMOS SOI test structures measurements
著者 (4件):
Shvetsov-Shilovskiy I. I.
(National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute), Moscow, Russia)
,
Nekrasov P. V.
(National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute), Moscow, Russia)
,
Ulanova A. V.
(National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute), Moscow, Russia)
,
Nikiforov A. Yu.
(National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute), Moscow, Russia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SIBCON
ページ:
1-4
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)